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敏芯股份：拟以0.9亿元认缴出资设立MEMS研究院投资中心
敏芯股份公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司拟作为有限合伙人与苏州园丰资本管理有限公司、中新苏州工业园区创业投资有限公司以及苏州纳米科技发展有限公司共同投资设立产业投资基金“MEMS研究院投资中心（有限合伙）”（暂命名）。
中新苏州工业园区创业投资有限公司
2021-02-23
一种基于 MEMS 系统的高灵敏度高分辨率的 微型温度传感器及监测方法
本发明涉及一种基于 MEMS 系统的高灵敏度高分辨率的微型温度传感器及监测方法，包括两组 V 型弯曲梁组件，其中每组 V 型弯曲梁组件包括若干上下叠放的 V 型梁，所述每组 V 型弯曲梁组件的所 有 V 型梁同中心，且同时固定在一个固定块上；两组 V 型弯曲梁组件通过连接杆与固定在一个杠杆的 一端，所述杠杆另一端设有压电陶瓷，压电陶瓷的上下断面分别是接电的上电极和下电极。本发明可以 感应极其微小的温度变化并且将之转换为较大的电信号输出，能够显著
武汉大学
2021-04-14