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一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

本发明公开了一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法,

该方法包括以下步骤:1)选取长方体形状的硅片并进行超声清洗;2)

用磁控溅射的方法在硅片上溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜;3)选

取可以在高温条件下使用的光纤光栅并进行超声清洗;4)用磁控溅射

的方法在光纤光栅上溅射一层一定厚度的金属薄膜;5)将镀了金属薄

膜的光纤光栅固定在磁致伸缩薄膜上;6)采用回流焊的方法,将镀了

金属薄膜的光纤光栅焊接在磁致伸缩薄膜上,

项目阶段:
未应用
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