一种热键合装置

其它领域

本发明提供了一种热键合装置，主要包括外腔、加压装置、上加热器和位于外腔底部的基座，基座中间部分为凸台，凸台内设有沉控，沉孔内装有弹簧，弹簧伸出凸台的一端上放置球头小柱，在球头小柱上依次放置隔热板和下加热器；在基座凸台两侧设有两支撑架，用于用于支撑下工作台机构；在下弹簧与下工作台机构接触处上端的导杆上套有上弹簧，用于支撑上工作台机构。本发明通过三种弹簧设置使上下加热器和上下工作台之间均匀压紧，实现键合样片之间的均匀贴紧。

未应用