高性能脉冲压缩光栅和合束光栅研发及应用
光栅尺寸在国际上居于领先地位,最大达到了 1400mm, 远超对手的 940mm;研制了一系列国内首台(套)具有自主知识产权的米量级光栅研制工艺关键设备;在国际上首创了曝光拼接方法,实现了利用小口径曝光系统,制作出了远 大于曝光系统口径的光栅;掌握了脉冲压缩光栅设计、工 艺容差分析和工艺过程控制技术,通过对曝光监测、显影监测和刻蚀监测来保证光栅制作工艺的稳定性,保证了光栅制作质量;首次对大口径高阈值光栅采用了综合清洗技术处理,提高了光栅的衍射效率和抗激光损伤阈值。
中国科学技术大学
2023-05-25