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敏
芯股份:拟以0.9亿元认缴出资设立
MEMS
研究院投资中心
敏芯股份公告,苏州敏芯微电子技术股份有限公司拟作为有限合伙人与苏州园丰资本管理有限公司、中新苏州工业园区创业投资有限公司以及苏州纳米科技发展有限公司共同投资设立产业投资基金“MEMS研究院投资中心(有限合伙)”(暂命名)。
中新苏州工业园区创业投资有限公司
2021-02-23
一种哑铃型ZnO微米环
气
敏
材料的制备方法
本发明属于纳米气敏材料制备技术领域,涉及一种哑铃型ZnO微米环气敏材料的制备方法,以Zn(NO3)2·6H2O和六次甲基四胺为反应原料,以水为溶剂,利用水热合成技术制备ZnO哑铃型棒状结构,室温静置后自发腐蚀得到哑铃型微米环气敏材料,制备工艺简单,反应条件温和,生产成本低,易于批量生产,制备的产品纯度高,结晶性好,比表面大,在气体传感器和光催化等方面具有潜在用途。本发明在新能源、气敏、催化、等领域具有重要用途。
青岛大学
2021-04-13
电子聚合物纳米薄膜调控与
气
敏
动力学研究
本项目属敏感电子学与传感器研究领域。主要围绕电子聚合物纳米气敏薄膜调控与气体传感器敏感动力学开展了系统研究,在电子聚合物分子结构设计与合成、敏感聚合物有序薄膜聚集方法及性能调控机制、气体传感器敏感机理等方面取得了一系列创新性成果,为气敏材料的设计与调控以及传感器性能的改善提供了科学依据,开拓了电子聚合物薄膜气体传感器新领域。发表SCI论文87篇,SCI他引839次,其中在国际化学传感器权威期刊《Sensors and Actuators B》上发表论文16篇,受到了国内外同行的高度评价和认可。本项目
电子科技大学
2021-04-14
页岩
气
、致密
气
、煤层
气
三
气
合采调查评价技术
页岩气、致密气、煤层气调查评价1、通过一系列参数井及探井建设,重点围绕安徽两淮煤系地层开展页岩气和煤层气等合探共采关键技术研究,获取煤系地层展布特征、有机地化、储层物性和含气性等关键参数,确定有效含气目的层段及其气体组合类型,进而确定有综合勘查开发潜力的煤系层位。2、立足“三气合采”,在充分挖掘勘探资料潜力的基础上,系统研究煤系天然气形成和聚集条件,分析煤层气、页岩气、致密砂岩气及碳酸盐岩气的共生组合特点和发育规律,优选煤系天然气共探共采有利区。
中国科学技术大学
2023-05-17
一种集成加热部件的微型
气
敏
传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形; ②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指 电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热 部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成 加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感 材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体, 而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传 感器的加热部件具有尺寸小,耗费能量小,制作简单的优点。
华中科技大学
2021-04-11
一种集成加热部件的微型
气
敏
传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形;②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体,而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小,耗
华中科技大学
2021-04-14
一维纳米复合金属氧化物
气
敏
材料及其制备方法
本发明提供了一种一维纳米复合金属氧化物气敏材料及其制备方法。本发明将氯化锌溶液、氯化锡溶液混合后与氢氧化钠溶液进行水热反应,通过加入无水乙醇、表面活性剂和控制反应条件而制备一维纳米氧化锌氧化锡复合材料。该制备方法与现有的一维纳米金属氧化物材料的制备方法相比,具有成本低,操作简单,低能耗等优点。制备的纳米复合材料对甲烷、一氧化碳、二氧化氮等气体具有气体敏感度,是一种良好的气敏材料。
安徽建筑大学
2021-01-12
一种基于叠层结构的高性能
气
敏
传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于叠层结构的高性能气敏传感器及其制备 方法。本发明采用氧化锡、氧化锌作为导电层,三氧化钨、二氧化钛、 氧化铜、氧化钴作为敏感层,同时采用钯、铂贵金属、硫化镉、锡化 镉敏化剂对敏感层进行修饰制备得到气敏传感器。本方法采用叠层的 形式将修饰后的气敏材料置于顶层,使其能与环境中的气氛进行充分 的反应,提高气敏传感器的响应度;将具有较好导电性能的材料置于 底层,使其将敏感层中电子浓度的变化迅速传递到外电路中
华中科技大学
2021-04-14
一种掺杂钴酸镧纳米棒阵列
气
敏
传感器的制备方法
本发明公开了一种掺杂钴酸镧纳米棒阵列气敏传感器的制备方 法,适合锶、铈、钯等元素掺杂钴酸镧纳米棒阵列气敏传感器的制备。 本方法采用阳极氧化法制备纳米棒阵列模板,采用溶胶凝胶法在模板 上形成掺杂钴酸镧纳米棒,并采用晶种的方式将纳米棒与电极基板接 触。该方法可以完好的保留纳米棒的形貌,并能在室温下对一氧化碳 有较好的响应。采用该方法制备的室温一氧化碳传感器结构简单,性 能优异。
华中科技大学
2021-04-14
MEMS
惯性测量单元
惯性测量单元(Inertial Measurement Unit,简称IMU)是测量物体三轴姿态角(或角速度)以及加速度的装置。IMU属于捷联式惯导,该系统由两个加速度传感器与三个速度传感器(陀螺)组成,加速度计测量物体在载体坐标系统独立三轴的加速度信号,而陀螺检测载体相对于导航坐标系的角速度信号,测量物体在三维空间中的角速度和加速度,并以此解算出物体的姿态。在导航中有着很重要的应用价值。 技术指标 技术指标 单位 型号 UESTCME-1 UESTCME-2 UESTCME-3 轴数 个 3 3 3 加速度量程 ±10g ±35g ±35g 加速度精度 2.8 5.5 11 加速度灵敏度 mV/g 100±2 20±1 40±1 加速度零点稳定性 mg/hr 15 60 40 加速度温度漂移 % <2% <2% <2% 角速度量程 o/s ±150 ±300 ±300 角度精度 度 0.1 0.2 0.1 角度灵敏度 mV/o/s 6±1 6±1 25±1 角度零点漂移 o/hr 0.3 1.0 0.3 角度温度漂移 % <2% <5% <2%
电子科技大学
2021-04-10
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