产品详细介绍龙门式空气轴承
X向双直线电机同步驱动
全花岗岩结构
空气轴承整体优化设计
高速、高精度光栅反馈装置
技术指标
设计行程:250mmX250mm
系统分辨率:0.1或0.05微米
重复定位精度:0.5微米
最大运行速度:800mm/s
最大运行加速度:1.5G
负载能力:3Kg
X向双直线电机同步驱动
全花岗岩结构
空气轴承整体优化设计
高速、高精度光栅反馈装置
技术指标
设计行程:250mmX250mm
系统分辨率:0.1或0.05微米
重复定位精度:0.5微米
最大运行速度:800mm/s
最大运行加速度:1.5G
负载能力:3Kg