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反应离子刻蚀机

2022-07-18 17:13:19
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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招标单位：
华东师范大学
招标年份：
2022 年
所属地区：
上海上海市
招标类型：
产品招标
采购方式：
公开招标
项目概况：

反应离子刻蚀机 招标项目的潜在投标人应在无接触报名 获取招标文件，并于2022年08月09日 10点30分（北京时间）前递交投标文件。

项目基本情况：
项目编号：2051-224211040211/2022-0211-dj
项目名称：反应离子刻蚀机
预算金额：250 万元
最高限价：250 万元
采购需求：

序号/ No.

货物名称

Name of the goods

数量/Quantity

简要技术规格

/Main Technical Data

1

反应离子刻蚀机

Reactive ion etching machine

1

★1极限真空度：£3×10-4 Pa（12小时内）。2、 对于SiO2的刻蚀速率：≥30 nm/min。★3、RIE模式刻蚀的片内均匀性：8英寸范围≤±5%（去边7mm）。★4、 RIE模式片间均匀性：≤±3%。★5、 RIE模式刻蚀选择比：光刻胶>3:1，硅>8:1。6、 RIE模式刻蚀侧壁倾角：>85o。
合同履行期限：合同签订后至履行完成合同约定的全部工作
申请人资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

/

3.本项目的特定资格要求：（1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；（2）投标人是专业生产本次所需设备的制造商，或由制造商指定一个代理商作为本次投标的唯一授权代理；（3）投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品。（4）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册； （5）本项目不接受任何形式的分包和转包。

获取招标文件：
时间：2022年07月19日 至 2022年07月26日，每天上午9:30至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：无接触报名
方式：微信关注公众号“教建咨询”报名，首次报名需先进行供应商注册认证。报名搜索项目编号：2022-0211-dj。报名上传资料：加盖公章的法定代表人证明书原件和法定代表人身份证原件，或加盖公章和法人签章的法定代表人授权委托书原件和被委托人身份证原件。报名付费成功后招标文件会快递至报名提交信息中的邮寄地址。
售价：1000 元
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-08-09 10:30
开标时间：2022-08-09 10:30
地点：线上开标。投标人使用谷歌浏览器登录“https://zb.secm.com.cn/#/s/login”，根据项目详情中的“线上投标指南”，在投标截止时间前完成线上投标。并在投标截止时间前将投标文件快递至上海市钦江路88号东楼6楼626室
公告期限：自本公告发布之日起5个工作日
补充事宜：

1、报名如有疑问可发送邮件至261910191@qq.com;
2、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台(https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。本公告在中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）上同步发布。

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