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北京化工大学
教育部
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【政府采购意向】ARRADIANCE台式原子层沉积系统
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A03专用仪器
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】ARRADIANCE台式原子层沉积系统
预算金额：320 万元
采购需求：
ALD 是用于沉积单原子层超薄膜的气相沉积设备。通过精确控制媒质的流量以及使用清除媒质，可在纳米尺度精确控制沉积薄膜厚度，实现大批量大面积的基底材料和复杂的三维物体表面制备高保形薄膜，广泛用于催化化学、材料科学、物理学、电子与通信技术领域的科学仪器。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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