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南京大学
教育部
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【政府采购意向】微波等离子体化学气相沉积系统
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A02052402 真空应用设备
预计采购时间：2022-12
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】微波等离子体化学气相沉积系统
预算金额：120 万元
采购需求：
南京大学拟采购买微波等离子体化学气相沉积系统一套。 参数性能需满足： 1. 微波系统：微波频率：2450±25MHz；输出功率：0.6kw~6kw 连续可调； 2. 真空系统：工作气压范围：10~250Torr；自动稳压范围：40~250Torr； 3. 样品台： a)电动升降式水冷基片台，直径120mm，高度可调范围 0～110mm； b)钼基片台直径≥50mm，在工作状态，等离子体可覆盖整个基片台； c)基片台温度250～1400℃； 4. 测温系统：红外测温系统，测温范围：250~1400摄氏度。 服务要求：可提供技术支持和售后服务；设备保质期12个月。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-12-31 00:00
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