采购品目:A02100301 显微镜
预计采购时间:2022-12
采购原子力显微镜1台,要求具备样品表面形貌的原子力扫描成像功能,主要用于半导体材料与器件形貌的表征。通过探针针尖的原子力作用扫描样品表面,获得包括高度、力学、电学和粗糙度等信息。 设备主要由以下几部分组成:测试主机、显微系统、控制主机、控制系统与软件、配套附件等。 具备多种工作模式:包括但是不限于 接触模式;轻敲模式;自动扫描模式;磁力显微镜;横向力显微镜;相位成像。具备大范围的样品水平扫描能力;具备大范围的Z轴扫描能力,具有智能自动进针方式,附带正版操作系统与软件,可放置样品最大支持8寸,向下兼容,具备高分辨同轴直视光学系统:在操作原子力显微镜的同时,可获得光学图像;配备主动电磁式防震平台, 随设备提供满足设备质保期内正常使用的常用备件与耗材,包括用于8英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。 质保期:自设备验收之日起至少1年,质保期内提供全免费保修。在质保期满后继续提供技术支持。 交货地点:南京大学仙林校区。 售后服务响应要求:供应商必须保证快速的服务响应,得到通知后,应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的,应在72小时内赶到现场。 培训要求:设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后,供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训,包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。
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