【政府采购意向】离子注入机

2022-12-19 14:03:48

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关键词：离子注入机清华大学高校采购

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招标单位：

清华大学

招标年份：

2022 年

所属地区：

北京北京市

招标类型：

产品招标

采购方式：

公开招标

项目概况：

采购品目：A032103电子工业专用生产设备

预计采购时间：2022-11

项目基本情况：

项目名称：【政府采购意向】离子注入机

预算金额：2800 万元

采购需求：

拟采购离子注入机一套，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等，支持8英寸及以下尺寸晶圆，能量范围：2.0keV-900keV，剂量范围：1E11~1E16ions/cm2。质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）

提交投标文件截止时间、开标时间和地点：

截止时间：2022-11-30 00:00

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