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清华大学 > 高校采购 > 正文

【政府采购意向】电子束光刻机

2022-12-22 15:40:46
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
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招标单位：
清华大学
招标年份：
2022 年
所属地区：
北京北京市
招标类型：
产品招标
采购方式：
公开招标
项目概况：

采购品目：A032103电子工业专用生产设备

预计采购时间：2022-11

项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】电子束光刻机
预算金额：3000 万元
采购需求：

拟采购电子束光刻机2套，在样品表面实现10nm以下图案曝光和三维图形曝光，要求：质保期至少1年；售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）。

提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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