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【政府采购意向】高精度深硅刻蚀系统
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A032103电子工业专用生产设备
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】高精度深硅刻蚀系统
预算金额：1100 万元
采购需求：
拟采购高精度深硅刻蚀系统1套，8”及以下Si、石英等刻蚀；片内/片间均匀性：3%。要求：质保期至少1年；售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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