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北京大学
教育部
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【政府采购意向】离子束刻蚀系统
招标单位：
招标年份：
所属地区：
招标类型：
采购方式：
项目概况：
采购品目：A032103电子工业专用生产设备
预计采购时间：2022-11
项目基本情况：
项目名称：【政府采购意向】离子束刻蚀系统
预算金额：261.5 万元
采购需求：
利用离子束轰击固体表面的溅射作用，加工出各种几何图形，通过大面积离子源产生的离子束，可对固体材料溅射刻蚀，对固体器件进行微细加工，是微纳器件制备中必不可少的设备。
提交投标文件截止时间、开标时间和地点：
截止时间：2022-11-30 00:00
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