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清华大学微纳电子器件直流电学特性测试系统采购项目
清华大学微纳电子器件直流电学特性测试系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在发售网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年09月09日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。
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包号 |
名称 |
数量 |
是否允许进口产品投标 |
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01 |
微纳电子器件直流电学特性测试系统 |
1套 |
是 |
设备用途介绍：微纳电子器件直流电学特性测试系统可用于对微纳电子器件（如微机电系统器件（MEMS），场效应晶体管（FETs），发光二极管(LEDs)等）施加电压和电流信号，以及对器件的电学特性测试表征。
简要技术指标 ：
1）探针台：8英寸半自动探针台，支持晶圆、芯片及单器件IV/CV测试；具备微暗屏蔽箱，可实现遮光、EMI屏蔽，支持低漏电测试，系统漏 电流100 fA左右。EMI 屏蔽 > 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz；光衰减 ≥ 130 dB；光谱噪声基底 ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)；系统交流电噪声 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)。
2）半导体参数测试仪：可用插槽数目≥10；测试软件带PC端版本，支持离线分析，且支持多个用户，便于管理；C-V 多频率电容单元，AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)，频率范围：1 KHz~5 MHz，频率分辨率：1mHz。
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
扶持小微企业、监狱企业、残疾人福利性企业发展，优先采购节能产品、环境标志产品等。
3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内注册；2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件；3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；4）不接受联合体投标；5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
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