上海交通大学接触式光刻机国际招标

上海交通大学接触式光刻机国际招标招标项目的潜在投标人应在上海国际招标有限公司网站(https://www.shabidding.com)在线领购获取招标文件，并于2023年05月11日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

序号	货物名称	简要技术规格	数量	交货期
1	接触式光刻机	1) 最大晶圆尺寸： 6英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片； 2) 分辨率：优于0.8μm（i线，光刻胶厚度1μm，真空接触，等间距图形）；分辨率：优于3.0μm（i线，光刻胶厚度1μm，20um曝光间隙，等间距图形）； 3) 光强均匀度：优于±2.5％，其中，在最大晶圆尺寸区域测量至少5个点，均匀性 = ± （最大值 – 最小值） / （最大值 + 最小值）； 4) 其他技术要求详见第八章第二部分《技术规格》。	1套	签订合同后10个月内

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。

3.本项目的特定资格要求：1）具有独立法人资格及独立承担民事责任的能力，在法律和财务上独立，根据商业法规合法运作；2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；4）具备可靠的售后服务能力，拥有专业技术支持人员以及硬件维修工程师负责售后服务；5）若投标人不是投标货物的制造商，则必须提供投标货物制造商出具的针对本项目的唯一授权书；6）投标人或投标货物制造商近3年内（2020年4月至今）须具有不少于2项同类设备的销售业绩（提供业绩清单及合同复印件）；7）参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；8）采用源自中华人民共和国关境内（不包括香港、澳门和台湾等单独关境地区）制造的产品（含由境内海关特殊监管区域内企业生产或加工（包括从境外进口材料、部件）的产品）参与投标的境内投标人，应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款所规定的资格条件（应在投标文件中提供《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条第一款所规定的资格证明文件）；9）投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册及招投标业务登记（由于机电产品交易平台的注册及登记核验需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已完成招投标业务登记并处于有效期内，以免因临近投标截止时间再来办理注册及登记事宜而影响正常投标）。10）本项目不允许联合体投标。

注：决定参与本项目投标的潜在投标人还须于投标截止期前完成在上海交通大学数字化采购平台（https://pboffice.sjtu.edu.cn/）上的供应商注册及实名认证，请尽早办理，以免因资料审核时间而影响项目进度。