光纤微探头式激光位移传感技术

【成果简介】针对微传感头式超精密位移测量对体积极小、易嵌入、能在狭小空间中执行测量任务的迫切需求，研发了光纤微探头式激光位移传感技术与仪器装置。该技术旨在取代国外同类进口仪器，打破西方的垄断和封锁，推动国家超精密加工制造领域的快速发展。相关研究成果入选中国科协-科创中国先导技术榜单。

【技术指标】相较于传统测量仪器，独特优势在于：测头集成度极高、体积极小，易嵌入实验装置或精密装备中，可在狭小空间中执行测量任务；测头与主机仅通过单光纤连接，装调便捷且不引入热污染，易达成超精密测量目标。

【应用前景】该技术可广泛应用于高端装备制造、基础物理研究等领域，支撑传感式超精密测量需求，为我国高端装备研发提供嵌入式在线位移测量手段。

 a)掩模板滑移测量场景   （b)纳米压印轴跳动测量场景 

(c)运动位置测控      (d)光学形变监测      (e)卫星内部嵌入测量