Φ1500 大尺寸超精密非球面车复合加工机床及应用工艺

激光核聚变装置、卫星用光学系统、大型天文望远镜等国家重大工程及国防尖端技术对高精度大口径光学非球面元件（Φ400mm以上）有极大的需求。该类元件属于硬脆性难加工材料，对非球面表面加工精度的要求也相当高，当前国内精密超精密加工技术及装备与国外相比仍然存在阶段性差距，技术整体水平落后于发达工业国家。

针对国家对高精度大口径非球面光学元件的重大需求，西安交通大学联合国内超精密加工领域的优势单位秦川机床、哈尔滨工业大学、北京空间机电研究所、厦门大学和苏州大学，首次采用阶梯梁结构成功研制出了国内首台1500mm非球面超精密车磨复合加工机床，实现了典型加工件（Φ400mm以上）的面型精度优于5μm（PV），粗糙度小于10nm（RMS），同时研制出了1500mm大尺寸工件等应力支撑夹具和高精度工作转台（轴跳和径跳均为0.3μm），开发了测量范围可达1000mm的大尺寸非球面测量装置，重复测量精度1μm。