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一种基于柔顺机构的 3 维微力传感器的敏感元件

2021-05-04 22:10:21
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 敏感元件
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所属领域:
先进制造与自动化
项目成果/简介:

主要技术要点(创新点) :
 采用空间 3-UPU 柔顺并联机构作为结构类型,与传统微力传感器的敏感元件
相比,具有高精度、高强度、无累积误差等优点;
 3 个支链相互垂直放置,并且每 1 条支链能感受某一方向的力,同时不会影响
其他支链的悬臂梁的应变,具有 3 维解耦力传感特点;
 采用 3-UPU 柔顺并联结构具有高固有频率,具有频宽范围大的特点;
 采用 2 对对称的悬臂梁的应变形成全桥式电路作为输出,具有温度不敏感的
特点。
项目背景:
随着精密工程技术、微机电系统(MEMS)技术及微/纳米技术等的研究,微传感器
技术得到极大发展,特别是微力传感器,在各种微操作过程中执行对微接触力的检测,
实现力-位移或力-视觉等混合控制,对提高微操作系统的精度起到了重要作用。该成
果来源于胡俊峰副教授主持的国家自然科学基金项目《基于柔顺机构的智能微操作机
器人动力学与控制研究》。 

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