一种基于柔顺机构的 3 维微力传感器的敏感元件

主要技术要点（创新点） ：
 采用空间 3-UPU 柔顺并联机构作为结构类型，与传统微力传感器的敏感元件
相比，具有高精度、高强度、无累积误差等优点；
 3 个支链相互垂直放置，并且每 1 条支链能感受某一方向的力，同时不会影响
其他支链的悬臂梁的应变，具有 3 维解耦力传感特点；
 采用 3-UPU 柔顺并联结构具有高固有频率，具有频宽范围大的特点；
 采用 2 对对称的悬臂梁的应变形成全桥式电路作为输出，具有温度不敏感的
特点。
项目背景：
随着精密工程技术、微机电系统(MEMS)技术及微/纳米技术等的研究，微传感器
技术得到极大发展，特别是微力传感器，在各种微操作过程中执行对微接触力的检测，
实现力-位移或力-视觉等混合控制，对提高微操作系统的精度起到了重要作用。该成
果来源于胡俊峰副教授主持的国家自然科学基金项目《基于柔顺机构的智能微操作机
器人动力学与控制研究》。