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3D NAND 存储器研发

2021-01-12 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 存储器
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所属领域:
新一代信息技术
项目成果/简介:

已有样品/n3D NAND 是革新性的半导体存储技术,通过增加存储叠层而非缩小器件二维尺

寸实现存储密度增长,从而拓宽了存储技术的发展空间,但其结构的高度复杂性给

工艺制造带来全新的挑战。经过不懈努力,工艺团队攻克了高深宽比刻蚀、高选择

比刻蚀、叠层薄膜沉积、存储层形成、金属栅形成以及双曝光金属线等关键技术难

点,为实现多层堆叠结构的3D NAND 阵列打下坚实基础。

项目阶段:
小批量或小范围应用
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