硅光子平台开发

新一代信息技术

已有样品/n成功开发了系列硅光子流片工艺模块和初版PDK，其中标准单元库主要包括单

模波导、Y-分支、光交叉器、耦合光栅等无源器件，而最近有源工艺的成功开发，

将向标准单元库中添加加热电极、调制器和Ge 光电探测器等有源器件。

此次有源器件流片的成功，加上先导中心2016年上半年开发成功的硅光子无源

工艺及器件（图3），使微电子所硅光子平台已具有为业界提供基于180nm工艺的硅

光子流片服务的能力，成为国内首个基于8英寸CMOS工艺线向用户

小批量或小范围应用