用于材料表面改性用离子源技术

本研究室已开发出一系列用于离子镀膜、离子刻蚀、离子注入、辅助镀膜、离子清洗等工艺中的离子源，以及离子源用电源。研制的离子源产品有：

1．冷阴极离子源：研制的冷阴极离子源具有结构简单，引出束流大的特点。目前已有引出口径为6 ，9 和20 ×5 的离子源产品提供给客户，引出束流分别有几十到几百 ，放电电流几百到几 ，引出电压可以提供有100 -1500 可调和500 -30 可调的2种电源，在离子束照射的有效范围内不均匀性小于10%，稳定度为10%。该源被广泛应用于辅助镀膜，离子刻蚀，离子清洗等工艺。由于离子源没有灯丝，尤其适合于放电气体中含有氧、氢，以及带有腐蚀性气体的工况，可以避免因灯丝烧毁而缩短寿命的缺点。

2． 热阴极离子源：热阴极气体离子源产品目前有6 ，9 ，12 ，16 ，20 和20 ×5 引出口径的成品，引出束流几十 到几 ，放电电流几百到几 ，引出电压可以提供有100 -1500 可调和500 -30 可调2种电源，在离子束照射的有效范围内不均匀性小于10%，稳定度为10%。该源被广泛应用于辅助镀膜，离子刻蚀，离子清洗等工艺。

3． 离子束溅射金属离子源：该源是为了满足离子注入机的要求专门设计产生产的，该离子源可以满足硼、磷、硅、亚、氮、镍、锌、铁、钼等多种气体和金属元素注入的需要。最小束散角要求不大于3度，引出电压500-3万伏可调，引出束流20毫安。控制电源的稳定性1‰，波纹系数5‰。

4． 固体金属离子源：该离子源利用电弧放电原理，可以产生多种材料的离子，如碳离子、钛离子、铁离子等。目前有单孔和多孔引出2种形式，引出束流几十 到几 ，放电电流几百到几 ，引出电压可以提供100 -1500 可调和500 -30 可调2种电源，均匀性为10%，稳定度为10%。该源引出束流大，适用于离子镀膜，离子表面改性等工艺。

5． 离子源配套电源有：（1）输出电压为0-1500伏，输出电流1安的开关电源，稳定度为1‰，波纹系数5‰。（2）输出电压为1500伏，输出电流2安的开关电源，稳定度为1‰，波纹系数5‰。（3）输出电压为300伏，输出电流3安的开关电源，稳定度为1‰，波纹系数5‰。（4）输出电压为40伏，输出电流30安的交流电源。