用于材料表面改性用离子源技术

2021-01-12 00:00:00

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关键词：离子源技术

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所属领域:

新材料及其应用

项目成果/简介:

冷阴极离子源：研制的冷阴极离子源具有结构简单，引出束流大的特点。目前已有引出口径为6 ，9 和20 ×5 的离子源产品提供给客户，引出束流分别有几十到几百，放电电流几百到几，引出电压可以提供有100 -1500 可调和500 -30 可调的2种电源，在离子束照射的有效范围内不均匀性小于10%，稳定度为10%。该源被广泛应用于辅助镀膜，离子刻蚀，离子清

项目阶段:

小批量或小范围应用

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