大型超精密隔微振技术_哈尔滨工业大学

【成果简介】针对光刻机、电镜等高端超精密仪器装备、大型科学实验系统中环境微振动干扰问题，突破被动式气浮/磁浮阵列、主动负刚度与主动阻尼等创新方法，系统掌握大型精密气/磁隔微振技术，实现超大、超重、超精密隔微振性能的兼顾。形成系列大型精密隔微振器、大型/超大型精密隔微振平台、嵌入式隔微振器产品，成功研制浮起重量1500吨的超大型超精密气浮隔振平台，用于航天关键应用，发挥了重要作用。研究成功北京大学大科学工程“多模态跨尺度生物医学成像设施”项目中3000吨级超大型超精密隔微振平台，支撑大科学装置。该方向获授权发明专利120余项，获教育部技术发明一等奖、国家技术发明二等奖等。

【技术指标】最大浮起重量：几吨至几千吨；隔振固有频率：1Hz；平台振动速度：最好可达VC-G级。

【应用前景】该技术可广泛用于扫描电镜等超精密仪器，光刻机等超精密加工装备，以及大型科学实验系统。已在航空航天领域应用上百台套。