一种空气包层SU8阵列波导光栅

2021-01-12 00:00:00

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关键词：光纤通信阵列波导光栅

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所属领域:

电子信息

项目成果/简介:

本发明属于光纤通信技术领域，公开了一种空气包层SU8阵列波导光栅，包括依次连接的输入信道波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导、输出信道波导；阵列波导光栅采用SU8胶在二氧化硅衬底上制作而成，所述阵列波导光栅采用空气包层。本发明解决了现有技术中阵列波导光栅的制作过程复杂、集成度不高的问题，本发明的光波损耗小、热稳定性好、加工方法简单，效率高。

成果发布时间：2021年

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