本发明公开了一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法,属于化学功能材料领域。该制备方法以三异丙醇氧钒为溶质制备前驱液,将所得前驱液涂于蓝宝石衬底制备前驱物薄膜,最后将前驱物薄膜置于真空环境中烧制而成。本发明在液相法的基础上,通过控制真空烧结条件制备二氧化钒薄膜,所获得的薄膜均具有良好的生长取向,相变温度为60°C左右,相变前后电阻率的变化在三个量级以上;且制备工艺简单,适合大范围推广。