研究团队拥有 12m2 的洁净室,经风淋室进入。洁净室由 14 台装有超高效过滤器的 FFU 送风,14 台 FFU 可独立开启和变频风量控制,洁净室可进行层流、乱流实验,层流时可实现 ISO4 级,具有可计量不同颗粒的发尘装置。净化空调系统由新风系统和回风道干盘管完成空气处理。研究团队有多项洁净室设计经验240和洁净室调试经验。