本发明提供了一种基于等离子体源的双高频高压信号同步调试方法,步骤S01:对于不存在信号输出端口的高频电源端从高压输出端进行采样。步骤S02:从高压输出的信号首先经过采样电路等比例采样到ADC的输入范围±5V以内,通过ADC和RAM系统的通信完成逻辑的控制运行。步骤S03:获取采样数据并处理,过固定的延时,通过GPIO口输出PWM信号给另外一台电源的IGPT控制端口,通过延时来实现两个电源从某一时刻达到信号的同步输出。本发明能够精确地调节和同步高频与高压信号,确保等离子体源在最佳工作状态下运行。不仅提高了信号的同步性和稳定性,还具有较高的自动化水平,能够在复杂环境下实现对信号源的精确控制。
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