光学元件六自由度调节夹持装置及装配方法

先进制造与自动化

本发明提出一种光学元件六自由度调节夹持装置及装配方法，涉及光学仪器技术领域。装置包括支撑底座、球头调节螺钉、悬臂弹簧机构及弹性对顶机构。支撑底座底部设有三角形布局通孔组，光学元件重心位于三角形内部；悬臂弹簧机构与球头调节螺钉组合控制Z轴位移及绕X/Y轴转动，弹性对顶机构与球头调节螺钉组合控制X/Y轴平移及绕Z轴转动；所有接触界面采用球面‑平面点接触设计，材料选用钨钢或磷青铜。本发明可以实现光学元件六自由度独立精密调节，装夹面型误差低至0.068μrad，结构紧凑且适配性强。