在信息产业飞速发展的今天,为了满足人们对于手机、计算机、便携式数码设备等电子产品进一步轻便、小巧等的使用需求,必须使其核心的电磁元器件向微型化、薄膜化、集成化等方向发展。随着电路中的射频磁器件的体积不断缩小,使用频率不断提高,传统的铁氧体材料由于其饱和磁化强度低,使其在GHz使用频率下无法保持高的磁导率,这就迫切需要开发一种能够应用于GHz频率范围的高频软磁薄膜材料。目前国内外的科研人员采用不同方法研究并制备了多种软磁薄膜材料,如CoPdAlO(Sharp公司)、CoZrTa(Intel公司)、Co
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