作为被公认为最复杂制造过程之一的半导体制造过程,其调度与控制是影响企业竞争力的关键因素。半导体制造调度介于生产计划和设备控制之间,是在满足约束限制下,通过合理分配资源来优化各生产性能指标。针对我国目前多数半导体企业的生产管理仍由人工完成的现状,迫切要求提升生产管理的自动化,而调度与仿真软件正是有效支持生产管理决策的最佳工具。由同济大学研发的硅片制造生产线调度与仿真系统(TB-PSS),能够辅助管理人员进行生产调度决策,供现场操作人员参考完成生产调度任务。应用表明,TB-PSS系统能够减少带班经理交接班时间,提高工作效率;优化瓶颈设备操作次序,提高非瓶颈设备利用率。对提高半导体制造生产线的管理水平具有积极的意义。
产业化应用
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