一种带自动定位装置的扫描电镜样品台

高端装备制造

本实用新型公开了一种带自动定位装置的扫描电镜样品台包括：样品仓，设有样品工作位；扫描单元，安装在所述样品仓内位于样品安装位的正上方，通过马达系统在X，Y方向上移动；交换仓，设有样品安装位，与所述样品仓连通，还设有样品进出口和交换仓门；移动导轨，在所述样品仓和交换仓之间传输样品；样品安装座，安装在所述移动导轨上，在所述样品安装位和样品工作位之间移动；交换杆，一端连接所述样品安装座，一端伸出交换仓；摄像头，安装在交换仓内位于所述样品安装位的正上方；控制器，设有导航模块，所述导航模块根据在样品安装座的图像上指定位置以控制扫描单元平移到对应的观察位置上。

未应用