一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀

高端装备制造

本发明公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀，包括下阀体

（1）、依次压叠在下阀体（1）上的基片（3）、上阀体（4）和平面螺旋线圈（6），下阀

体的底部沿径向方向分别设有进液流道（2）和出液流道（11），下阀体的上部设有液体腔

（13），进液流道（2）设有垂直向上的与液体腔连通的流道口，出液流道（11）与所述液

体腔连通；基片（3）上表面镀有具有逆磁致伸缩效应薄膜（7），下表面镀有具有正磁致伸

缩效应薄膜（9）；平面螺旋线圈（6）通电后，磁致伸缩薄膜驱动器在激励磁场的作用下发

生形变向上弯曲，使得工作流体通道打开，实现液压系统回路的通断。本发明具有体积小、

易于微型化、响应速度快、可控性强等特点。

试用