基于直线电机的运动平台监控系统,可以支持直驱平台实现二维、三维或多维的超高速和超精密运动,精度和分辨率均在微米级。应用直驱运动平台可大大提高工业设备的速度和效率,推动现代装备及自动化设备制造业向高速、高精密方向发展。典型的应用领域:LED封装装备、办公机具、精密机械制造业、石油化工业、航空与国防工业、半导体加工及芯片制造业、工业机器人和机械手、激光及检测设备、医疗设备、电梯及仓储行业、食品与纺织机械行业等。