微弧离子镀设备研制及镀膜工艺开发

2021-04-13 00:00:00

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关键词：镀膜工艺开发

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所属领域:

其它领域

项目成果/简介:

微弧离子镀（Micro-arc Ion Plating，MAIP）技术有机融合了多弧离子镀和磁控溅射离子镀的优点，主要面向于精密制造领域的高端薄膜制备。微弧离子镀工艺因具有离化率高、绕镀性好、均匀性好、基片温升低等特点，是各种精密制品理想的表面改性工艺；以此技术开发的纳米氮化物系列超高硬度镀层、碳基非晶自润滑镀层、硫化钼基低摩擦系数镀层等在机械行业得到了广泛的应用。

项目阶段:

小批量或小范围应用

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