硅基悬臂梁Ｔ型结直接加热式未知频率毫米波相位检测器

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本发明的硅基悬臂梁Ｔ型结直接加热式未知频率毫米波相位检测器，其实现结构主要包括悬臂梁耦合结构、Ｔ型结和直接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁，每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成，两个悬臂梁之间ＣＰＷ传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率３５ＧＨｚ处为λ／４。为实现未知频率毫米波相位的检测，首先对待测信号的频率进行检测。频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在所测信号频率范围内的中心频率３５ＧＨｚ处相位差为９０度的耦合信号的合成功率实现；相位检测通过将两路相位差为９

小批量或小范围应用

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