本发明的硅基缝隙耦合式的间接式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换、MCS51单片机和液晶显示四大模块组成,传感器由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器主要是由共面波导、非对称共面带线和电阻组成;间接式热电式功率传感器由共面波导、两个电阻以及热
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