本发明的硅基未知频率缝隙耦合式间接式毫米波相位检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共设置有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波导、非对称共面带线和电阻组成;间接式热电式功率传感器主要由共面波导、两个电阻以及热电
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