本发明的硅基已知频率缝隙耦合式直接式毫米波相位检测器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共设置有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构连接着两个直接式热电式功率传感器,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器是由共面波导传输线、非对称共面带线和一个隔离电阻组成;直接式热电式功率传感器主要由共面波
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