带气浮导轨的波纹管式气动伺服执行器（产品）

人工智能

成果简介：采用金属波纹管作为执行元件，金属波纹管安装在载物台上，将 输入压力变为位移的线性输出；载物台安装在气浮导轨上，气浮导轨通过外 部输入的压力气体在气浮导轨定子和动子之间形成一层气膜，从而形成了一 个润滑层，使得气浮导轨动子可以无摩擦运行，从而使气动伺服执行器获得 较高的运动精度和定位精度。

项目来源：自行开发

技术领域：先进制造技术

应用范围：采用气压驱动的高速精密定位系统

现状特点：国内先进<

小批量或小范围应用