项目简介 本成果基于金属有机化学气相沉积(MOCVD)GaN 生长的化学反应动力学原理和传热 传质原理,设计了一种新的 GaN 生长的 MOCVD 工艺,以及相应的新的 MOCVD 反应器。新 工艺可以大大减少气相寄生反应、提高衬底上方的温度和浓度均匀性,加大生长窗口。 改进了传统的 MOCVD 工艺窗口窄,对温度和浓度过于敏感等缺点,属国际首创。围绕该 成果已申请多项发明专利。 性能指标