本成果包括系列基于硅基或SOI基材料的高压集成技术,可用于700V AC-DC电源管理IC、600V/1200V高压栅驱动IC、不同电压需求的高压开关IC、D类功率放大器、电机驱动IC等的研制,满足照明、工业控制、汽车电子、电机驱动、消费电子等领域的需求。具体包括: 硅基:
(1)超低比导通电阻700V单晶型BCD工艺;
(2)600V外延型BCD工艺;
(3)1200V外延型BCD工艺;
(4)48V高功率BCD工艺;
(5)40V高压双极型工艺。
SOI基:
(1)600V 厚层SOI BCD工艺;
(2)650V薄层SOI高压CDMOS工艺;
(3)300V薄层SOI高压CDMOS工艺;
(4)200V薄层SOI高压CDMOS工艺;
(5)100V薄层SOI高压CDMOS工艺;
(6)40V薄层SOI高压CDMOS工艺;
(7)-200V SOI高压CDMOS工艺;
(8)-100V SOI高压CDMOS工艺。
产业化应用
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