投影栅相移微动装置

先进制造与自动化

由于现有精密控制光栅位移的装置结构复杂，成本较高，本技术是提

供一种投影栅相移微动装置，它采用步进电机获得均匀步长，原理简单，

容易实现，价格低廉。

该技术特征是：步进电机上连有联轴器，联轴器连接丝杆，步进电机

转动时会带动丝杆转动；投影光路系统与正弦光栅移动方向垂直，高亮度

发光二级管产生的白光经过反光镜反光，再经非球面聚光镜变为平行光，

照射到正弦光栅上，正弦栅像经过出射透镜组照射到被测物体上。

本

产业化应用