光学微腔器件

高端装备制造

成果创新点

1.在光学微腔器件的晶体腔加工、PPLN 微腔加工、微

腔耦合与封装、微腔超高 Q 值检测方面，分别提出了先进

而完善的实施方案，并申请了相关发明专利。现有晶体微

腔 Q 值国内最高水平 106，国外达到 109，本项目可优于 108，

从而达到国内领先，国际先进水平。

2.在光学微腔器件应用方面，研发例如超窄线宽激光

器（精密测量、物理量精密传感）、超窄线宽滤波器（激

光技术

小批量或小范围应用