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多晶硅生产冷氢化工艺加热合成反应关键技术装备

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词： 多晶硅生产
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所属领域:
先进制造与自动化
项目成果/简介:

实现多晶硅生产冷氢化工艺过程工程化的关键加热系统装置；降低成本40%，减少能耗2/3。8000小时以上无故障稳定运行加热合成反应器关键技术。

项目阶段:
产业化应用
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