晶体材料大尺寸、定晶向放电切割技术

先进制造与自动化

合作的企业类型等。简介请图文并茂，字数1000字以内。）

近年来，在国家自然基金、江苏省自然基金、航空基金以及国防预研、国家新能源产业化专项、江苏省科技成果转化等项目资助下，本课题组进行了在半导体晶体材料加工上实现了大尺寸（600mm）、高尺寸精度（5μm）、定晶向（0.3分）、低损耗、低成本的集成技术优势，成为国内外首个在半导体晶体放电切割上实现重大突破和技术应用的研究团队，多项研究成果已经获得或即将获得重要应用。

本课题组在特种加工、微细加工、激光加工、再制造等方面开

产业化应用