本发明涉及金属材料加工技术领域,具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤:将超高纯铝板材于50℃~300℃下热轧,道次压下量控制在40%~50%;将热轧后的超高纯铝板材在100~300℃温度下保温0~1小时;然后进行冷轧,道次压下量控制在40%~50%,通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升,抑制板材的