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创新工艺有望实现常关型射频器件

2021-04-14 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 射频器件
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所属领域:
其它领域
项目成果/简介:

AlGaN/GaN HMET射频器件有一原生的电子信道,为一常开器件,不利于射频功率放大器电路设计与安全性。如果器件能够实现常关特性,则射频功率放大器电路可因此简化。然而,目前常见实现器件常关特性工艺需要对半导体层进行刻蚀,而刻蚀工艺会对器件引入缺陷,降低器件特性,因此市面上的常关型AlGaN/GaN HMET射频器件非常少见。

项目阶段:
试用
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