微型湿度传感器

项目成果/简介:

自主设计研发，采用独创的器件结构和特有的感湿介质及其制备技术。

与同类产品相比的优势:湿滞小;芯片面积小(~3mmx3mm);响应速度快(对30%-70%RH湿度阶跃变化的响应时间为~1.0s);100℃以上高温耐受性好;长期稳定性好(常温环境中放置1年特性无明显变化)。

采用常规微电子工艺制作，易于大批量生产。

掌握全套制备工艺和关键工艺技术，达到量产水平。

已获发明专利，具有完全知识产权。

应用范围:

便于与其它部件集成，适合于便携式、移动式湿度检测或恶劣环境的湿度检测，可用于农业、气象、高温/有毒环境、狭小/密闭环境的湿度检测。可利用互联网、物联网等应用技术平台组成检测网络，应用潜力巨大。

项目阶段:

已用于新能源汽车电池模组的湿度检测(因电池寿命受湿度的影响大)。

知识产权类型:

发明专利

知识产权编号:

ZL201010535361.8、ZL201010272929.1

技术成熟度:

可以量产

技术先进程度:

达到国内领先水平

成果获得方式:

独立研究

获得政府支持情况:

无