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MEMS压力传感器

2021-04-10 00:00:00
云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn
关键词: 压力传感器
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所属领域:
电子信息
项目成果/简介:

自然频率 55kHz-79 kHz 量程 Normal:9kPa-120kPa Extended:5kPa-160kPa 灵敏度 50-80Hz/kPa 一个大气压下(101.3kPa)的谐振频率 63 kHz-75 kHz 受温度的影响 15V 1.5V 驱动电压 50-80Hz/kPa

项目阶段:
产业化应用
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