极深紫外光源与纳米器件制造

2021-04-14 00:00:00

云上高博会 https://heec.cahe.edu.cn

关键词：纳米器件制造

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所属领域:

先进制造与自动化

项目成果/简介:

徐永兵课题组于2014年启动了国家重大仪器研究计划（飞秒级时间分辨并自旋分辨电子能谱探测系统，项目编号61427812）。此项目就是旨在建立国内第一套极深紫外的光源系统。目前已经成功地在实验室中，实现了波长为120~24 nm左右的脉冲光源，脉冲重复频率为1kHz，单个脉冲为30fs。单个光子能量最大到50 eV左右，亮度为1 ´ 1011光子/s。从光

项目阶段:

产业化应用

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